MEMS Reshapes Ultrasonic Sensing Built in silicon with advanced MEMS technology, new ultrasonic sensors offer improvements in performance and cost and enable a wider range of applications

• Autores: A. Cittadine
• Localización: Sensors, ISSN 0746-9462, Vol. 17, Nº 2, 2000, págs. 17-27
• Idioma: inglés
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