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Resumen de Estudio de un sistema de excitación prototipo de doble descarga con llave magnética para la aplicación en un laser de excimero.

J. Niedbalski

  • Se presentan resultados del estudio experimental de un sistema de excitación de doble descarga (prepulso-descarga principal), con llave magnética, destinado a la obtención de pulsos ópticos largos en un láser de excímero de X e Cl. Las descargas son iniciadas por fotoionización UV en sincronismo con el prepulso y desarrolladas en una cámara que simula la cabeza láser usando Ne como medio gaseoso. El retardo entre los pulsos de corriente asociado a éstas, medido sobre la llave de 71 nH de inductancia geométrica, fue de 60ns, aproximadamente.


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