Caracterización de superficies texturadas de silicio mediante el uso de un reflectómetro diferencial.

• Autores: A. Marel, C. Arencibia, M. García
• Localización: Óptica pura y aplicada, ISSN-e 2171-8814, Vol. 28, Nº. 1, 1995, págs. 5-10
• Idioma: español
• Títulos paralelos:
  • Silicon textured surface characterization by differential reflectometer
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• Resumen

  • En este trabajo se utiliza la medición de la distribución espacial de la luz reflejada para la caracterización de superficies texturadas de silicio monocristalino y se describe el instrumento construido por nosotros para ese fin, al cual denominaremos Reflectómetro Diferencial. Este equipo mide el flujo luminoso reflejado por la muestra en cualquier dirección espacial y diferentes longitudes de onda. Usando este método se explican los valores y peculiaridades de la reflectancia.