Transport mechanisms in thin film deposition using a R. F. sputtering system

• M. P. Cagigal ^[1]
  1. [1] Universidad de Santander

     Universidad de Santander

     Panamá

     
• Localización: Revista de la Academia de Ciencias Exactas, Físicas, Químicas y Naturales de Zaragoza, ISSN 0370-3207, Nº. 39, 1984, págs. 29-38
• Idioma: inglés
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