Experimental Determination of Micromachined Discrete and Continuous Device Spring Constants Using Nanoindentation Method

• Autores: Lu Shen, F.S. Chau, V.J. Logeeswaran, Francis E.H. Tay, M.L. Chan, K.Y. Zeng
• Localización: Analog integrated circuits and signal processing: An international journal, ISSN 0925-1030, Vol. 37, Nº 1, 2003, págs. 45-56
• Idioma: inglés
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