A Frequency Selective Silicon Vibration Sensor with Direct Electrostatic Stiffness Modulation

• Autores: Birgit Brämer, Thomas Gessner, Dirk Scheibner, Wolfram Dötzel, Jürgen Wibbeler, Jan Mehner
• Localización: Analog integrated circuits and signal processing: An international journal, ISSN 0925-1030, Vol. 37, Nº 1, 2003, págs. 35-43
• Idioma: inglés
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