A reconstruction of objets by interferometric profilometry withpositioning system of labeled target periodic

• Néstor Alonso Arias-Hernández ^[1] ; Martha Lucía Molina-Prado ^[1] ; Jaime Enrique Meneses-Fonseca ^[2]
  1. [1] Universidad de Pamplona

     Universidad de Pamplona

     Colombia

     
  2. [2] Universidad Industrial de Santander

     Universidad Industrial de Santander

     Colombia

     
• Localización: DYNA: revista de la Facultad de Minas. Universidad Nacional de Colombia. Sede Medellín, ISSN 0012-7353, Vol. 82, Nº. 190, 2015, págs. 153-159
• Idioma: inglés
• Títulos paralelos:
  • Reconstrucción de objetos por perfilometría interferométrica con sistema de posicionamiento de mira periódica
• Enlaces
  • Texto completo (pdf)
• Resumen
  • español

    En este trabajo se presenta un método para extraer información 3D usando un microscopio interferométrico, sin la necesidad de utilizar un dispositivo transductor piezoeléctrico (PZT, por su siglas en inglés). En lugar de ello se utiliza un sistema de posicionamiento que aprovecha la sensibilidad a la fase de una mira periódica, que es registrada mediante el uso de un sistema de visión. El procesamiento de la mira permite calcular la distancia relativa entre el objetivo Mirau y el objeto. Reconstrucciones topográficas de algunas décimas de milímetros fueron calculadas con una precisión de aproximadamente 28 nanómetros. Se presenta un análisis teórico y algunos resultados experimentales.

  • English

    A method to extract 3D information using a white light interferometer without using PZT is presented. Instead a positioning system that uses the phase sensitivity of a target periodic is employed. The image treatment realized on the periodic target permits to calculate the relative distance between Mirau objective and object surface. Topographic reconstructions of objects with dimensions of some tenths of millimeters were calculated with an accuracy of approximately 28 nanometers. Theoretical analysis and experimental results are shown.