Temperature behaviour on deposition of the titanium nitride thin films on the H13 steel by the electric arc discharge in vacuum

• Autores: Laura Lara Ortiz, Fredy Fabián Parada Becerra, Ely Dannier Valbuena Niño, P.A. Tsygankov, Valeriy Dugar Zhabon, Arturo Plata Gómez
• Localización: Respuestas, ISSN 0122-820X, ISSN-e 2422-5053, Vol. 22, Nº. 2, 2017, págs. 14-22
• Idioma: inglés
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    AbstractObjective: In this present research work the behaviour of temperature of the substratemanufactured in AISI H13 steel, in the range of and , during of surface deposition oftitanium nitride (TiN) thin films by the technique of cathodic arc in vacuum. Results:The physical properties of the TiN films were obtained and analysed by the techniquesof micro-indentation, Atomic Force Microscopy (AFM) and X-Ray Diffraction (XRD).Conclusion: It was determined that the increase in the temperature of the substrate duringthe deposition of TiN films improves the mechanical properties of the surface of the steelof type AISI H13, where the highest hardness was present in the coating deposited at atemperature of , which has a preferential orientation in the plane determined by the XRDpatterns. 

  • English

    En el presente trabajo de investigación se estudia el comportamiento de latemperatura del sustrato, fabricado en acero de tipo AISI H13, en el rango de y , durantela deposición superficial de películas delgadas de nitruro de titanio (TiN) por la técnicade arco catódico en vacío. Resultados: Las propiedades físicas de las películas de TiNfueron obtenidas y analizadas mediante las técnicas la micro-indentación, microscopía defuerza atómica (AFM) y la difracción de rayos x (DRX). Conclusión: Se determinó queel incremento en la temperatura del sustrato durante la deposición de las películas de TiN,mejora las propiedades mecánicas de la superficie del acero de tipo AISI H13, donde lamayor dureza se presentó en el recubrimiento depositado a una temperatura de , el cualtiene una orientación preferencial en el plano determinada por los patrones de DRX.

  • português

    No presente pesquisa é estudado o comportamento da temperatura do substrato,feito de aço de tipo AISI H13, no intervalo de e , durante a deposição superfície daspelículas finas de nitreto de titânio (TiN) por meio da técnica de arco catico em vácuo.Resultados: As propriedades físicas dos filmes de TiN foram obtidos e analisados pelastécnicas de micro-indentação, microscopia de força atómica (AFM) e difracção de raios-X(DRX). Conclusão: determinou-se que o aumento de temperatura do substrato durante adeposição do filme de TiN, melhora as propriedades mecânicas da superfície do aço detipo AISI H13, onde a maior dureza foi apresentada no revestimento depositado a umatemperatura de , que tem uma orientação preferida no plano determinados pelos padrõesde DRX.