Implantación iónica

• Autores: Héctor Jaime Dulce Moreno, Valeri D. Dougar Jabon, Piotr Andrei Tsygankov
• Localización: Respuestas, ISSN 0122-820X, ISSN-e 2422-5053, Vol. 8, Nº. 1, 2003, págs. 19-30
• Idioma: español
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    En este trabajo se presenta una revisión de las diferentes técnicas de implantación de iones desde los implantadores por haces iónicos, utilizados en la fabricación de semiconductores, pasando por una serie de desarrollos con base en la tecnología de la física del plasma, hasta llegar a la técnica denominada Implantación Iónica Tridimensional (3DII). Para cada una de las técnicas de implantación iónica se presentan los dispositivos más comunes y se analizan sus características principales. Para el caso de la Implantación Iónica Tridimensional se describe el equipo JUPITER (Joint Universal Plasma and Ion Technologies Experimental Reactor), único en el mundo, para la investigación de descargas pulsadas de alto voltaje a bajas presiones y para el tratamiento superficial de materiales. Este dispositivo se implementó en el Laboratorio de Física del Plasma y Corrosión de la Universidad Industrial de Santander, con la colaboración financiera de COLCIENCIAS y con la cooperación de la Universidad Técnica Estatal Bauman de Moscú.

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    This paper reviews the different techniques of ion implantation is presented from the implanter ion beam, used in the manufacture of semiconductors, through a series of developments based on the technology of plasma physics, to reach the Ion Implantation technique called three-dimensional (3DII). For each ion implantation techniques most common devices are presented and their main characteristics are analyzed. In the case of ion implantation Dimensional equipment JUPITER (Joint Universal Plasma and Ion Technologies Experimental Reactor), unique in the world for research downloads pulsed high voltage at low pressures and for surface treatment of materials described. This device was implemented in the Laboratory of Plasma Physics and corrosion of the Industrial University of Santander, with the financial support of COLCIENCIAS and with the cooperation of Bauman State Technical University in Moscow.