Design and development of a computer control system for a 250 k V ion implanter

• J.M. Martín ^[1] ; F. Kaduch ^[1] ; G. González Díaz ^[1]
  1. [1] Universidad Complutense de Madrid

     Universidad Complutense de Madrid

     Madrid, España

     
• Localización: Anales de física, ISSN 1133-0376, Vol. 89, Nº. 2 (MAY-AGO), 1993, págs. 91-96
• Idioma: inglés
• Títulos paralelos:
  • Diseño y desarrollo de un sistema de control por ordenador para un implantador iónico de 250 k V
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