Resumen de Dual system increases the resolution of a low coherence interferometer system through a signal detector astigmatic focus

A.Eneas N Morel, A.D. Aguilar, J.R. Torga

• español

  La interferometría de baja coherencia en el espacio de Fourier (OCT-FD) es una técnica que permite medir distancia con valores típicos de rango dinámico en el orden de 3 mm y resolución por debajo de los 10 µm. En este trabajo se propone combinar esta técnica interferométrica con una técnica que mide distancias utilizando la señal de foco astigmática, lo que permite llevar el límite de resolución a menos de 10 nm. Se muestra el esquema experimental armado con ambas técnicas y resultados experimentales en desplazamientos de una superficie muestra, controlada con un sistema piezoeléctrico realimentado con strain-gauge que hemos utilizado como sistema de referencia

• English

  low coherence interferometry in Fourier space (FD-OCT) is a technique to measure distance with typical values of dynamic range in the order of 3 mm and resolution below The 10 microns. In this paper we propose to combine the interferometric technique with a technique that measures distances using astigmatic focus signal, allowing lead the resolution limit of less than 10 nm. The experimental scheme shown armed with both techniques and experimental results in displacement of a sample surface, controlled feedback system with a piezoelectric strain gauge which we have used as a reference system