DISEÑO DE UN EQUIPO INDUSTRIAL DE ARCO PULSADO PARA LA PRODUCCIÓN DE PELICULAS DELGADAS MEDIANTE PAPVD.

• Autores: Gloria Patricia Estrada, Mauricio Arroyave Tobón, Alfonso Devia Cubillos
• Localización: Scientia et Technica, ISSN 0122-1701, Vol. 2, Nº. 25, 2004, págs. 277-282
• Idioma: español
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    Se ha diseñado un equipo multicátodo de tipo industrial, para la producción de películas delgadas mediante PAPVD, por la técnica de evaporación por arcos eléctricos pulsados. El equipo se compone de una cámara de vacío, con geometría cilíndrica y dimensiones 1 m de diámetro x 1 m de longitud. Las piezas se localizan en un árbol portamuestras intercambiable que tiene movimiento rotacional planetario. La evaporación se realiza simultáneamente en 8 blancos rotatorios, a través de una fuente de potencia controlada con tecnología IGBT. Todas las variables del proceso son controladas automáticamente.

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    A multi-evaporator equipment for industrial applications has been designed. It is used to produce thin films by means of PAPVD, using pulsed electric arc evaporation technique. This equipment is conformed by a vacuum chamber. It has cylindrical geometry and its dimensions are 1 meter of diameter and 1 meter of length. The pieces to be coated, are localized in an interchangeable sample holder tree. This has a planetary rotatory movement. The evaporation is realized simultanealy in each one of eight rotatory targets, using a controlled power supply, with IGBT technology. All the variables of the process are controlled automatically.