Thermal error modeling and compensation of long-travel nanopositioning stage

• Autores: Jingshun Wang, Changan Zhu, Mingchi Feng, Wenqi Ren
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 65, Nº. 1-4, 2013, págs. 443-450
• Idioma: inglés
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