Resumen de Microestructura CMOS para la Manipulación de Micropartículas

Flavio Humberto Fernández Morales, Julio Enrique Duarte, Josep Samitier Martí

• español

  La manipulación de micropartículas naturales y artificiales, es una operación frecuente en áreas como la biotecnología y la medicina. Por ello, existe un gran interés por desarrollar dispositivos versátiles y eficientes que reemplacen a los métodos de laboratorio tradicionales. Es así como se han aprovechado las ventajas que ofrecen los campos eléctricos como mecanismo de actuación, ya que solo requieren el empleo de electrodos para su implementación. De hecho, existe una gran cantidad de aplicaciones que utilizan tecnología de microsistemas para fabricar estas herramientas de manipulación. Sin embargo, sería deseable el disponer de dispositivos desarrollados en tecnología microelectrónica estándar, con el fin de facilitar su procesado tecnológico, a la vez que se reducen sus costos de fabricación. En vista de lo anterior, en este trabajo se plantea el diseño y fabricación de una microestructura en tecnología CMOS con el fin de verificar la viabilidad de la manipulación de micropartículas a través de campos eléctricos inhomogéneos. Además, se presentan algunos resultados experimentales obtenidos con microesferas de poliestireno de 2 μm de diámetro.

• English

  Artificial and natural microparticle manipulation is a common operation in biotechnology and medicine. As a consequence, there is an enormous interest in developing versatile and efficient devices to replace the traditional laboratory methods. Thus, electric fields have been used as an actuation mechanism because they only require a few electrodes to make particle manipulators. In fact, there are some applications which employ microsystem technologies to fabricate these manipulation tools. However, it could be interesting to have at disposal devices developed in standard microelectronics technology, in order to simplify their processing as well as to reduce their manufacturing costs. As a result, in this work it is outlined the design and fabrication of a microstructure in CMOS technology, in order to demonstrate the viability of microparticle manipulation through inhomogeneous electric fields. Furthermore, some experimental results with particles of 2 μm in diameter are shown.