IR laser-induced decomposition of disiloxane for chemical vapour deposition of poly(hydridosiloxane) films

• Autores: Jan Šubrt, Helmut Beckers, Markéta Urbanová, Vladislav Dřínek, Josef Pola
• Localización: Applied organometallic chemistry, ISSN 0268-2605, Vol. 13, Nº 9, 1999, págs. 655-658
• Idioma: inglés
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