Differential optical feedback interferometry for the measurement of nanometric displacements

• Autores: Francisco J. Azcona, Reza Atashkhooei, Santiago Royo Royo
• Localización: Óptica pura y aplicada, ISSN-e 2171-8814, Vol. 47, Nº. 1, 2014, págs. 19-25
• Idioma: español
• Títulos paralelos:
  • Interferometría láser diferencial retroalimentada para la medición de desplazamiento nanométrico
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    Recientemente hemos propuesto la interferometría láser realimentada diferencial como un método para la medición de desplazamientos en la escala nanométrica. En este artículo, presentamos algunos resultados experimentales que validan la teoría previamente presentada. Se describen además, en detalle el sistema de adquisición de datos (en particular la etapa de acondicionamiento de señal) y el algoritmo de procesamiento de señal. Los resultados obtenidos muestran buena concordancia con las mediciones realizadas con un sensor capacitivo utilizado como referencia.

  • English

    We have recently proposed differential optical feedback interferometry as a convenient method to measure nanometric displacements. In this paper, we present experimental results to support the proposed method. The acquisition system (in particular the conditioning electronics), and, the signal processing algorithm applied to the captured signal, will be described. Obtained results show good agreement with measurements performed using a capacitive sensor employed as reference.