Caracterización de láminas delgadas de óxidos y nitruros preparados por métodos asistidos por bombardeo iónico

• Autores: A. Fernández, Alfonso Caballero Martínez, D. Leinen, Agustín Rodríguez González-Elipe, Pedro Prieto, Christopher Quirós Serrano, J.M. Sanz
• Localización: Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio, ISSN 0366-3175, Vol. 36, Nº. 2-3, 1997, págs. 109-115
• Idioma: español
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• Resumen

  • Se presentan dos métodos de preparación de películas delgadas de los denominados asistidos por bombardeo iónico: la deposición química desde fase vapor inducida por bombardeo iónico y la deposición asistida por bombardeo iónico con dos haces. Estos métodos se aplican a la preparación de películas delgadas de TÍO2, PbTi03 y CN^ (nitruro de carbón). Se describe la caracterización de estas películas por Difracción de Rayos X de ángulo rasante (DRX), Espectroscopia de Absorción de rayos X (XAS) y Microscopía Electrónica de Transmisión (TEM) con accesorio de Espectroscopia de Pérdidas de Energía de Electrones (EELS).