Patente como modelo de utilidad: reactor dual asistido por plasma generado por microondas para ataque iónico y deposición de materiales

• Arroyave Franco, Mauricio ^[2] ; Jaramillo Ocampo, Juan Manuel ^[1]
  1. [1] Universidad EAFIT

     Universidad EAFIT

     Colombia

     
  2. [2] Mg. en Física
• Localización: Ingeniería y ciencia, ISSN-e 1794-9165, Vol. 8, Nº. 16, 2012, págs. 337-338
• Idioma: español
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