RTA of Si implantations into semi-insulating InP.

• Martín, J.M. ^[1]
  1. [1] Universidad Complutense de Madrid

     Universidad Complutense de Madrid

     Madrid, España

     
• Localización: Anales de física, ISSN 1133-0376, Vol. 90, Nº. 1 (ENE-ABR), 1994, págs. 39-55
• Idioma: español
• Texto completo no disponible (Saber más ...)