Medida del estado de vibración de un array de micro-voladizos mediante métodos difraccionales

• Autores: Alexander Cuadrado Conde, Jordi Agustí Batlle, Miquel López Suárez, Gonzalo Murillo Rodriguez, Gabriel Abadal Berini, Javier Alda
• Localización: Óptica pura y aplicada, ISSN-e 2171-8814, Vol. 45, Nº. 2, 2012 (Ejemplar dedicado a: ESPECIAL OPTOEL´11), págs. 105-111
• Idioma: español
• Títulos paralelos:
  • Measurement of the vibration state of an array of micro cantilevers by diffractional methods
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    En esta contribucion, se analiza la amplitud de vibracion de un array de micro-voladizos excitados a traves de un piezoelectrico. El objeto de analisis son las distribuciones de irradiancia generadas por la estructura. Se ha desarrollado un modelo que explica los cambios producidos en las figuras de y se han realizado medidas de la figura de difraccion producida. Esto permite un mejor conocimiento de la dinamica del dispositivo y la generacion de la figura de difraccion.

  • English

    The amplitude of vibration of an array of micro-cantilevers piezoelectrically excited has been measured by analyzing the diffraction pattern given by the structure. A model for the simulation of this situation, and some out-of-plane interferometric measurements based on diffraction pattern, have been developed and performed to fully understand the dynamic of the elements and the diffraction pattern produced by them.