Effect of fluid composition on nanofinishing of single-crystal silicon by magnetic field-assisted finishing process.

• Autores: A. Sidpara, V.K. Jain
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 55, Nº. 1-4, 2011, págs. 243-252
• Idioma: inglés
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