An experimental study of ultrasonic vibration-assisted grinding of polysilicon using two-dimensional vertical workpiece vibration.

• Autores: Y. Peng, Y.B. Wu, Z.Q. Liang, Y.B. Guo, X. Lin
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 54, Nº. 9-12, 2011, págs. 941-948
• Idioma: inglés
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