Obtención y caracterización de películas delgadas del sistema NdFeB por sputtering

• Autores: D. Oyola Lozano, Y. A. Rojas Martínez, H. Bustos Rodríguez
• Localización: Tumbaga, ISSN-e 1909-4841, Vol. 1, Nº. 4, 2009, págs. 7-12
• Idioma: español
• Títulos paralelos:
  • Production and characterization of thin films of NdFeB system by sputtering
• Enlaces
  • Texto completo (pdf)
• Resumen
  • español

    En este trabajo reportamos las propiedades estructurales y magnéticas de películas del sistema Nd2(Fe100-xNbx)14B con x= 2 producidas por pulverización catódica o sputtering. Las muestras se caracterizaron por espectrometría Mössbauer, difracción de rayos X y magnetometría de muestra vibrante. Se hace un estudio comparativo entre el blanco antes y después de interactuar con el plasma y la película obtenida.

    Con las condiciones usadas, las películas obtenidas presentan un comportamiento paramagnético con una estructura amorfa.

  • English

    In this paper we report the study of the structural and magnetic properties of system Nd2Fe14B fi lm produced by sputtering. Th e samples were characterized by Mössbauer spectrometry, X-ray diff raction and vibrant sample magnetometry. A comparative study is performed between the target before and after interacting with the plasma and the obtained fi lm. Under the applied conditions, the obtained fi lms show a paramagnetic behavior with an amorphous structure.