Electrostatically Actuated Two-Dimensional Optical Scanner Having a High Resonant Frequency Ratio of Fast/Slow Axes

• Autores: H. Noge
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 91, Nº 10, 2008, págs. 1611-1615
• Idioma: inglés
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