Three-Dimensional Nanostructure Fabrication by Focused-Ion-Beam Chemical Vapor Deposition and Its Applications

• Autores: S. Matsui, R. Kometani
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 90, Nº 1, 2007, págs. 25-35
• Idioma: inglés
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