Basic Studies of Fiber-Optic MEMS for Telecommunication Using Three Dimensional Micromachining

• Autores: Y. Taguchi, Kenta Miura, K. Hane, M. Sasaki, J. Song
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 84, Nº 12, 2001, págs. 1785-1791
• Idioma: inglés
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