A Computationally Efficient Method for Three-Dimensional Simulation of Ion Implantation

• Autores: J. Lorenz, H. Ryssel, S. Selberherr, A. Burenkov, K. Tietzel, A. Hossinger
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 83, Nº 8, 2000, págs. 1259-1266
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)