Piezoelectric Microcantilever Array for Multiprobe Scanning Force Microscopy

• Autores: T. Itoh, R. Azumi, T. Suga
• Localización: IEICE transactions on electronics, ISSN 0916-8524, Vol. 80, Nº 2, 1997, págs. 269-273
• Idioma: inglés
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