Finite element simulation and experimental study on the through-mask electrochemical micromachining (EMM) process.

• Autores: W. Li, W. Quandai, H. Xiuqing, D. Yucheng, L. Bingheng
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 51, Nº. 1-4, 2010, págs. 155-162
• Idioma: inglés
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