Resumen de Effects of the crystallization parameters on the fabrication or ultrathin capacitors of PbTi03
Raúl Fernández, M. L. Calzada, R. Jiménez, J. Ricote
Las láminas ultradelgadas ferroeléctricas tienen aplicaciones potenciales de gran interés, por ejemplo, como elementos transductores de los sistemas nanoelectromecánicos (NEMS). Pero para que puedan ser integradas de manera efectiva en dispositivos reales, varios problemas relacionados con su preparación deben ser resueltos primero. En este trabajo nos centramos en la fabricación de condensadores funcionales, es decir, sin cortos eléctricos, a partir de láminas ultadelgadas de PbTiO3 obtenidas por depósito de disoluciones. Se ha demostrado que por encima de un cierto valor del cociente entre el tamaño de grano y el espesor de la lámina, ésta se separa en estructuras aisladas, perdiendo su continuidad. Por tanto, el control del crecimiento de grano a través de la reducción de la temperatura de cristalización debe ser estudiada, así como sus efectos en las propiedades de las láminas ferroeléctricas. Usando condiciones de procesado óptimas se consiguen preparar condensadores funcionales de PbTiO3 de aproximadamente 40 nm de espesor con una baja contribución de las corrientes de pérdidas.
