Estimation method for errors of an aerostatic planar XY stage based on measured profiles errors.

• Autores: J. Hwang, C.-H. Park, S.-W. Kim
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 46, Nº. 9-12, 2010, págs. 877-884
• Idioma: inglés
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