Experimental verification of super-resolution optical inspection for semiconductor defect by using standing wave illumination shift.

• Autores: S. Usuki, H. Nishioka, S. Takahashi, K. Takamasu
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 46, Nº. 9-12, 2010, págs. 863-876
• Idioma: inglés
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