Displacement current sensor for contact and intermittent contact scanning capacitance microscopy.

• Autores: R. Biberger, G. Benstetter, H. Goebel
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 49, Nº. 9-11, 2009, págs. 1192-1195
• Idioma: inglés
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