Investigation and simulation on the dynamic shock response performance of packaged high-g MEMS accelerometer versus the impurity concentration of the piezoresistor.

• Autores: Z. Yang, Y. Huang, X. Li, G. Chen
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 49, Nº. 5, 2009, págs. 510-516
• Idioma: inglés
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