Generation and pressure measurment of extremely high vacuum (XHV) using a TiN coated chamber

• Autores: H. Akimichi, M. Hirata
• Localización: Metrologia: International journal of scientific metrology, ISSN 0026-1394, Vol. 42, Nº 6, 2005 (Ejemplar dedicado a: The 4th CCM International Conference on Pressure Metrology fromo Ultra-High Vacuum to Very High Pressures (10-9 Pa to 10+9 Pa)), págs. 184-186
• Idioma: inglés
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