Caracterización de la adhesión en películas delgadas mediante nanoindentación

• Autores: M.R. Elizalde
• Localización: Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio, ISSN 0366-3175, Vol. 39, Nº 3, 2000, págs. 319-322
• Idioma: español
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• Resumen

  • Este trabajo presenta una nueva técnica de nanoindentación en sección transversal desarrollada para el estudio a escala microscópica de los fenómenos de descohesión en intercaras de películas delgadas. El ensayo consiste en generar grietas en las intercaras de interés a partir de una indentación realizada sobre la sección transversal de una estructura multicapa de películas delgadas. La técnica se aplicó a dos muestras con tres películas delgadas (SiO2/Al-Cu/SiO2) depositadas sobre una oblea de silicio monocristalino que presentaban buena y mala adhesión. Se discute la correlación entre el agrietamiento observado y las correspondientes curvas carga aplicada frente a desplazamiento de la punta del indentador registradas durante el ensayo. Una ventaja de esta técnica es la baja dispersión de la longitud de las grietas obtenida en ensayos realizados en idénticas condiciones. Finalmente, la observación mediante MEB del frente de la grieta interfacial muestra claras diferencias en los micromecanismos de fractura presentes entre las muestras con mala y buena adhesión.