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Capas de a-SiN:H modificadas mediante la irradiación con un láser de excímero
Autores:
Mariano Pérez-Martínez y Pérez-Amor
,
Natalie Banerji
,
Fernando Lusquiños Rodríguez
,
Stefano Chiussi
,
Betty Mireya León Fong
,
Julia Serra Rodríguez
Localización:
Revista de metalurgia
,
ISSN
0034-8570,
Vol. 34, Nº 2 (I Reunión Iberoamericana de Síntesis y Procesamiento de Materiales por Láser), 1998
,
págs.
164-169
Idioma:
español
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