Películas delgadas de Al2O3 sobre silicio preparadas por ablación láser

• A. Lamagna ^[3] ; S. Duhalde ^[1] ; L. Correra ^[2] ; S. Nicoletti ^[2]
  1. [1] Universidad de Buenos Aires

     Universidad de Buenos Aires

     Argentina

     
  2. [2] Consiglio Nazionale delle Ricerche

     Consiglio Nazionale delle Ricerche

     Roma Capitale, Italia

     
  3. [3] Dpto. de Física. Comisión Nacional de Energía Atómica, Buenos Aires (Argentina)

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• Localización: Revista de metalurgia, ISSN 0034-8570, Vol. 34, Nº 2 (I Reunión Iberoamericana de Síntesis y Procesamiento de Materiales por Láser), 1998, págs. 82-86
• Idioma: español
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