A low power MEMS gas sensor based on nanocrystalline ZnO thin films for sensing methane.

• Autores: P. Bhattacharyya, P.K. Basu, B. Mondal, H. Saha
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 48, Nº. 11-12, 2008, págs. 1772-1779
• Idioma: inglés
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