Ultrafast laser micromachining of 3C-SiC thin films for MEMS device fabrication.

• Autores: B. Pecholt, M. Vendan, Y. Dong, P. Molian
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 39, Nº. 3-4, 2008, págs. 239-250
• Idioma: inglés
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