Reliability study of TaON capacitors: From leakage current characterization to ESD robustness prediction.

• Autores: M. Verchiani, E. Bouyssou, G. Fiannaca, F. Cantin, C. Anceau, P. Ranson
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 48, Nº. 8-9, 2008, págs. 1412-1416
• Idioma: inglés
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