Applications of Taguchi and design of experiments methods in optimization of chemical mechanical polishing process parameters.

• Autores: H.-T. Liao, J.-R. Shie, Y.-K. Yang
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 38, Nº. 7-8, 2008, págs. 674-682
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)