Optimization of a thin film deposition process using a dynamic model extracted from molecular simulations.

• Autores: C. Oguz, M.A. Gallivan
• Localización: Automatica: A journal of IFAC the International Federation of Automatic Control, ISSN 0005-1098, Vol. 44, Nº. 8, 2008, págs. 1958-1969
• Idioma: inglés
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