Quality factor measurement of micro gyroscope structure according to vacuum level and desired Q-factor range package method.

• Autores: J.S. Kim, S.-W. Lee, K.-D. Jung, W.-B. Kim, S.-H. Choa, B.-K. Ju
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 48, Nº. 6, 2008, págs. 948-952
• Idioma: inglés
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