Advanced process control of metal sputter deposition using a time series analysis.

• Autores: J.-H. Chen, T.-W. Kuo, T.-C. Chen
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 36, Nº. 5-6, 2008, págs. 501-509
• Idioma: inglés
• Texto completo no disponible (Saber más ...)