Comparison of thermoreflectance and scanning thermal microscopy for microelectronic device temperature variation imaging: Calibration and resolution issues.

• Autores: S. Grauby, A. Salhi, L.-D. Patino Lopez, W. Claeys, B. Charlot, S. Dilhaire
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 48, Nº. 2, 2008, págs. 204-211
• Idioma: inglés
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