Annealing treatment of amorphous silicon generated by single point diamond turning.

• Autores: R.G. Jasinevicius, P.S. Pizani
• Localización: International journal of advanced manufacturing technology, ISSN 0268-3768, Vol. 34, Nº. 7-8, 2007, págs. 680-688
• Idioma: inglés
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