RTA effects on the formation process of embedded luminescent Si nanocrystals in SiO2.

• Autores: T.S. Iwayama, T. Hama, D.E. Hole
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 4-5, 2007, págs. 781-785
• Idioma: inglés
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