Improved electrical properties using SrTiO3/Y2O3 bilayer dielectrics for MIM capacitor applications.

• Autores: M. Kahn, C. Vallée, E. Defay, C. Dubourdieu, M. Bonvalot, S. Blonkowski, J.-R. Plaussu, P. Garrec, T. Baron
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 4-5, 2007, págs. 773-776
• Idioma: inglés
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