Test structures for dielectric spectroscopy of thin films at microwave frequencies.

• Autores: N. Delmonte, B.E. Watts, G. Chiorboli, P. Cova, R. Menozzi
• Localización: Microelectronics reliability, ISSN 0026-2714, Vol. 47, Nº. 4-5, 2007, págs. 682-685
• Idioma: inglés
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